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IH600

應(yīng)用

l  負(fù)載鎖定

l  轉(zhuǎn)換

l  計(jì)量

l  平版印刷

l  PVD制程

l  PVD預(yù)清潔

l  RTA

l  剝離/灰化

l  刻蝕

l  植入源

l  HDP CVD

l  RTP

l  SACVD

l  MCVD

l  PECVD

l  LPCVD

l  ALD

功能與優(yōu)勢

l  優(yōu)化了設(shè)施消耗

l  無需預(yù)防性維護(hù)

l  懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理

l  在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)最大程度提高了工作繁重的CVD應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性

l  耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體

l  較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證

l  軸桿一體化設(shè)計(jì)無需電機(jī)聯(lián)軸器,第五抽排級免除對消音器的需求,也避免了顆粒堆積,兩者均減少了總體占地空間

泵系列

實(shí)踐證明,Edwards高級半導(dǎo)體真空泵能夠達(dá)到最高運(yùn)行標(biāo)準(zhǔn)。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)最大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。

iH系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的PECVD和LPCVD制程)提供了高可靠性。

·        iH80

·        iH160

·        iH600

·        iH1000

·        iH1800

·        iH1800HTX


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