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  1. HLD MD15 移動(dòng)式干式氦氣檢漏儀

HLD MD15 移動(dòng)式干式氦氣檢漏儀

HLD MD15 移動(dòng)式干式氦氣檢漏儀 Agilent HLD MD15 干式檢漏儀采用專用于檢測(cè)氦氣的質(zhì)譜儀,以氦氣作為示蹤氣體來(lái)定位和/或測(cè)量封閉設(shè)備或系統(tǒng)中的微小泄漏。移動(dòng)式 HLD MD15 是一款精密又耐用的儀器,具有簡(jiǎn)便易用的觸摸屏界面和菜單結(jié)構(gòu),便于用戶快速利用其強(qiáng)大的檢漏功能。內(nèi)置的應(yīng)用設(shè)置可縮短測(cè)試循環(huán),可保存設(shè)置以確保重復(fù)性。四個(gè)輪子可輕松滾動(dòng)到合適位置。MD15 包括無(wú)油、靜音的 Agilent IDP-15 渦旋式干泵,抽氣速率為 15 m3/h,用于快速的排空待檢部件和系統(tǒng),并在兩次測(cè)試循環(huán)之間快速清除本底氦氣。

  1. 詳細(xì)信息
特性:


  • 六個(gè)不同的應(yīng)用設(shè)置向?qū)в兄谀鷮x器正確地配置以獲得最佳性能,確保恰當(dāng)?shù)卦O(shè)置參數(shù)以便完整、有效地進(jìn)行測(cè)試。

  • 觸摸屏界面更大、更耐用且響應(yīng)更靈敏,能夠 180° 旋轉(zhuǎn),非常便于查看。

  • 更簡(jiǎn)明、直觀的用戶界面。提供常用功能的快速訪問以及扁平的菜單結(jié)構(gòu),方便您快速查找所需設(shè)置。

  • 開機(jī)向?qū)軌驇椭脩粼谑状谓油娫春髮?duì)儀器進(jìn)行設(shè)置。

  • 增強(qiáng)的圖表功能:便于仔細(xì)檢查數(shù)據(jù)的放大模式、彩色標(biāo)記的設(shè)定值以及記錄泄漏速率和壓力的時(shí)間曲線。

  • 更大的工作臺(tái)面為需要測(cè)試的部件和工具等提供了充足的空間。

  • 經(jīng)改善的關(guān)機(jī)程序能夠使檢漏儀處于真空環(huán)境并保護(hù)渦輪分子泵。

  • 更強(qiáng)的機(jī)動(dòng)性有助于更輕松到達(dá)半導(dǎo)體生產(chǎn)線或其他生產(chǎn)環(huán)境中狹窄的服務(wù)區(qū)域和范圍。

  • 干式真空泵可避免泵油污染被檢部件和系統(tǒng)。


性能指標(biāo):


用戶界面
  • 21 cm(8.4 英寸)觸摸屏

前級(jí)泵和抽氣速率
  • IDP-15 渦旋式干泵,15 m3/h (9 cfm)

  • 專利雙泵設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)快速凈化和背景抑制。

靈敏度
  • 5 × 10-12 mbar?L/s,5 × 10-12 atm?cc/s,5 × 10-13 Pa?m3/s

最大測(cè)試接口壓力
  • 13 mbar(10 Torr,1333 Pa)

  • 200 mbar(150 Torr,20000 Pa),粗漏模式

校準(zhǔn)
  • - 自動(dòng)內(nèi)部和外部

  • - 能夠在測(cè)試時(shí)檢查校準(zhǔn)

語(yǔ)言
  • 中文、英語(yǔ)、法語(yǔ)、德語(yǔ)、日語(yǔ)、韓語(yǔ)、俄語(yǔ)和西班牙語(yǔ)

通信功能
  • 模擬輸出和串行通信為標(biāo)準(zhǔn)配置。可選獨(dú)立式 IO 接口。

可用選件
  • 無(wú)線遙控器 (100 m)、獨(dú)立式 IO 接口、惡劣環(huán)境專用吸槍、自動(dòng)測(cè)試裝置。

內(nèi)置應(yīng)用設(shè)置指南
  • - 吸槍

  • - 氦氣噴槍

  • - 自動(dòng)排序器(可編程測(cè)試循環(huán))

  • - 高靈敏度

  • - 分流流速

  • - PPM 吸槍

資料庫(kù)



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類別: 檢漏


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